标准配置: 无油压缩机TM5.0B(6.5 m3/h,50bar) 无油真空压缩机(4.8 m3/h,终回收压力<5 mbar)
标准配置:无油压缩机 TM5.0B(6.5 m3/h,50bar)无油回收泵(15 m3/h,终回收压力<1 mbar)
标准配置:无油压缩机TM5.0B 6.5m3/h, 50bar), 无油回收泵(深度回收SF6气体, 15m3/h,<1mbar)真空泵 40m3/h,极限真空度 0.1 mbar
标准配置:无油压缩机(B110R11 17m3/h,50bar)无油回收泵(深度回收SF6气体, 35m3/h,<1mbar)真空泵 63m3/h,极限真空度 0.1 mbar