0.1μmからクリーンルームの常時・同時多点モニタリングが可能

特殊ガス供給システムを0.1μmから清浄度管理

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能

薬液中の0.03μm粒子を測定

薬液中の0.04μm粒子を測定

薬液中の0.05μm粒子を測定

液体中の0.1μm粒子を測定

薬液中の0.1μm粒子を測定

液体中の0.2μm粒子を測定

薬液中の0.2μm粒子を測定

液体中の0.5μm粒子を測定

2μmの粗大粒子の測定が可能

3088无放射性物质的气溶胶中和器

范围0?5000ppm精度1 读数的± 3.0％或± 50ppm，取其较大值分辨率1ppm

可以稳定、精确测量的低漂移NDIR的CO2传感器

快速的响应与测定 分辨率高 三维的粒径分布图像

大颗粒损失：3% 采样流量：28.3 L/min

稀释比：100:1和20:1 大颗粒损失：7% 采样流量：5 L/min

高分辨率数据：多达 167 个通道 广泛的尺寸范围：从 2.5 nm 到 1000 nm