同时进行6通道测试 大流量采样速率

医薬新製造環境における空気清浄度管理に適します。

医薬新製造環境における空気清浄度管理に適します

0.3μm、ハードディスク、スピンドルモータなどの発塵検査や高濃度環境の測定用

压力损失控制在小值，利用粒子计数器的吸引力进行动作，无需电源

粒子的质量分布研究 . 颗粒密度变化的分析研究 . 单分散气溶胶发生 .

超純水の0.05μm粒子を監視

超純水の0.05μm粒子を監視

無菌医薬品製造区域のモニタリングに適

医薬品工場などにおける注射剤中の不溶性微粒子を計測

液中パーティクルカウンタの計測システムを構築高精度な試料流量制御

インライン測定用フローコントローラ

インライン測定用スマフローコントローラ

0.1μmからクリーンルームの常時・同時多点モニタリングが可能

特殊ガス供給システムを0.1μmから清浄度管理

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能

薬液中の0.03μm粒子を測定

薬液中の0.04μm粒子を測定

薬液中の0.05μm粒子を測定