超純水の0.05μm粒子を監視

液体中の0.1μm粒子を測定

無菌医薬品製造区域のモニタリングに適

小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに

常時監視システム、自動運転システムの構築が可能

0.08μm、ハードディスク、スピンドルモータなどの発塵検査や高濃度環境の測定用

0.3μm、ハードディスク、スピンドルモータなどの発塵検査や高濃度環境の測定用

0.3μmの粒子を、3L/minの試料空気流量で測定

塗装や精密組立工程の浮遊粗大粒子をモニタリング

粒径范围： 2～750 μm样品流速： 100mL/min压力： 4.5Bar采样间隔： 1s ～ 24h

电子迁移率粒度测试仪，可测量快速变化的气溶胶

同时进行6通道测试 大流量采样速率

同时进行6通道测试 大流量采样速率

特殊ガス供給システムを0.1μmから清浄度管理

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能

薬液中の0.03μm粒子を測定

薬液中の0.04μm粒子を測定

薬液中の0.05μm粒子を測定

液体中の0.1μm粒子を測定