無菌医薬品製造区域のモニタリングに適

医薬品工場などにおける注射剤中の不溶性微粒子を計測

液中パーティクルカウンタの計測システムを構築高精度な試料流量制御

インライン測定用フローコントローラ

インライン測定用スマフローコントローラ

0.1μmからクリーンルームの常時・同時多点モニタリングが可能

特殊ガス供給システムを0.1μmから清浄度管理

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能

0.3μmの粒子を、3L/minの試料空気流量で測定

监测无尘室 调查室内空气质量 监测培养室 测试过滤器及其密合度,

無菌医薬品製造区域のモニタリングに適

小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに

液体中の0.1μm粒子を測定

薬液中の0.1μm粒子を測定

薬液中の0.2μm粒子を測定

薬液中の0.2μm粒子を測定

常時監視システム、自動運転システムの構築が可能

塗装や精密組立工程の浮遊粗大粒子をモニタリング